| 项目名称 | 拟投入资金 | 投资占比 |
|---|---|---|
| 高端半导体设备扩产项目 | 7986.46 万元 | 2.49% |
| 先进半导体设备的技术研发与改进项目 | 19948.34 万元 | 6.23% |
| ALD设备研发与产业化项目 | 27094.85 万元 | 8.46% |
| 补充流动资金 | 25000 万元 | 7.81% |
| 半导体先进工艺装备研发与产业化项目 | 93000 万元 | 29.05% |
| 永久补充流动资金 | 3469.17 万元 | 1.08% |
| 高端半导体设备产业化基地建设项目 | 110000 万元 | 34.35% |
| 超募资金回购股份 | 19730 万元 | 6.16% |
| 节余募集资金永久性补充流动资金 | 5332.55 万元 | 1.67% |
| 节余超募永久补充流动资金 | 8565.24 万元 | 2.68% |
| 投资金额总计 | 320,187.79 万元 | |
| 实际募集资金总额 | 227,283.12 万元 | |
| 超额募集资金 | -92,904.67 万元 | |
| 投资金额总计与实际募集资金总额比 | 140.88 % |