| 项目名称 | 拟投入资金 | 投资占比 |
|---|---|---|
| 新能源、新光源、半导体行业关键配套装备和工艺开发配套生产力提升项目 | 8081 万元 | 8.45% |
| 超高纯砷化氢、磷化氢扩产及办公楼(含研发实验室)建设项目 | 15856 万元 | 16.59% |
| 补充流动资金 | 18000 万元 | 18.83% |
| 部分超募资金永久补充流动资金 | 14000 万元 | 14.64% |
| 用部分超募资金永久补充流动资金 | 14000 万元 | 14.64% |
| 使用超募资金永久补充流动资金 | 14000 万元 | 14.64% |
| 剩余超募资金永久补充流动资金 | 6167.97 万元 | 6.45% |
| 永久补充流动资金 | 5493.34 万元 | 5.75% |
| 投资金额总计 | 95,598.31 万元 | |
| 实际募集资金总额 | 100,656.95 万元 | |
| 超额募集资金 | 5,058.64 万元 | |
| 投资金额总计与实际募集资金总额比 | 94.97 % |