| 项目名称 | 拟投入资金 | 投资占比 |
|---|---|---|
| 高端半导体设备扩产升级项目 | 40058.96 万元 | 29.76% |
| 技术研发中心建设升级项目 | 40097.22 万元 | 29.79% |
| 补充流动资金 | 20000 万元 | 14.86% |
| 节余募集资金永久补充流动资金 | 4384.567 万元 | 3.26% |
| 回购公司股份 | 30077.72 万元 | 22.34% |
| 投资金额总计 | 134,618.47 万元 | |
| 实际募集资金总额 | 155,163.54 万元 | |
| 超额募集资金 | 20,545.07 万元 | |
| 投资金额总计与实际募集资金总额比 | 86.76 % |